一、機器特點:
①采用雙氣缸上下控制;下工位行程可調
②恒溫設計,膜片周邊擴張均勻適度;
③加熱、拉伸、擴晶、固膜一次完成;
④加熱溫度、擴張時間、回程速度均勻可調;
⑤操作簡便,單班產量大
整機采用***零部件,所用加工部件都使用**度鋁合金及304不銹鋼制造,確保設備的耐久性;溫度控制器件采用原裝宇電數(shù)顯PID人工智能溫控儀。
二、技術參數(shù):
1.電壓:220VAC/50Hz, 功率:600W(10寸),300W(8寸),150W(4寸,6寸)
2.工作氣壓:5Kg/cm2 溫度范圍:室溫~80℃(建議55-60℃)
3.上氣缸行程:300mm(10寸)250mm(8寸),200mm(4寸,6寸)
下氣缸行程:75mm(可雙向調節(jié))
4.外型尺寸:10英寸 400x350x1250mm(長x寬x高) 機器重量:38Kg
8英寸 350x300x1180mm(長x寬x高) 機器重量:30Kg
4英寸,6英寸270x220x920mm(長x寬x高) 機器重量:20Kg
四、操作步驟:
1.將氣壓表擰入設備左側過濾器螺孔中。插上電源,氣管接頭插入氣源;
2.打開電源開關和溫控開關,將溫度設定于55℃(不同晶片膜溫差異士5℃);
設置給定值:在基本顯示狀態(tài)下可以通過按∧,∨,<鍵來修改下顯示窗口顯示的設定溫度控制值。按∨鍵減小數(shù)據(jù),按∧鍵增加數(shù)據(jù),可修改數(shù)值位的小數(shù)點同時閃動(如同光標)。長按并保持不放可以快速地增加/減少數(shù)值,并且速度會隨小數(shù)點右移自動加快(2級速度)。而按<鍵則可直接移動修改數(shù)據(jù)的位置(光標),按∧或∨鍵可修改閃動位置的數(shù)值,操作快捷。
3.通氣后上壓盤自動回到**上方,按下氣缸下按鈕,下壓盤回至**下方(反復幾次下氣缸動作,將上升速度調整至適合速度)
4.松開鎖扣,掀起上工件板,先將擴晶環(huán)內環(huán)放于下壓模上,再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正**,晶片朝上,將上工件板蓋上,鎖緊鎖扣。
5.按下氣缸上按鈕,下壓盤徐徐上升,薄膜開始向四周擴散,晶粒間隔逐漸拉大,當晶片間隔擴散至原來的2~3倍時既停止上升,將擴晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內環(huán)正上方。
6.按上氣缸按鈕(始終按壓)上壓盤下降,將擴晶環(huán)壓合后,松開按鈕上壓盤自動回至**上方。
7.按下氣缸下按鈕,下壓盤下降至**下方,取出擴晶完畢的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序備膠固晶。
8.調節(jié)行程螺母在設備后面**下部開孔處,調節(jié)好后請緊固鎖緊螺母。
9.上氣缸速度調節(jié)閥在氣缸上下部。下氣缸速度調節(jié)閥在設備后部小方孔處。